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                G-25型高精密單面光刻機

                簡介—— 鑫南光小編為大家介紹四川光刻機信息:一抖前鞠、 G-25型光刻機的主要用途本設備廣泛應用于進行批量生產的各大抖前鞠、 中抖前鞠、 小型企業,  它主

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                四川光刻機


                鑫南光小編為大家介紹四川光刻機信息:

                一抖前鞠、 G-25型光刻機的主要用途

                本設備廣泛應用于進行批量生產的各大抖前鞠、 中抖前鞠、 小型企業,  它主要用于中小規模集成電路抖前鞠、 半導體元器件抖前鞠、 聲表面波器件的研制和生產 

                由于本機找平機構先進,  找平力小抖前鞠、 使本機不僅適合各型基片的曝光,  而且也適合易碎片如砷化鉀抖前鞠、 磷化銦等基片的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光 

                二抖前鞠、 主要構成

                主要由高精度對準工作臺抖前鞠、 雙目分離視場CCD顯微顯示系統抖前鞠、 多點光源(蠅眼)曝光頭抖前鞠、 PLC電控系統抖前鞠、 氣動系統抖前鞠、 真空管路系統抖前鞠、 直聯式真空泵抖前鞠、 二級防震工作臺和附件箱等組成 

                三抖前鞠、 主要功能特點

                1.適用范圍廣

                適用于Φ100mm以下(最小尺寸為Φ5mm),  厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對準曝光 

                2.分辨率高

                采用高均勻性的蠅眼曝光頭,  非常理想的三點式自動找平機構和穩定可靠的真空密著裝置,  使本機的曝光分辨率大為提高 

                3.套刻精度高抖前鞠、 速度快

                采用版不動片動的下置式三層導軌對準方式,  使導軌自重和受力方向保持一致,  自動消除間隙;承片臺升降采用無間隙滾珠直進導軌抖前鞠、 氣動式Z軸升降機構和雙簧片微分離機構,  使本機片對版在分離接觸時漂移特小,  對準精度高,  對準速度快,  從而提高了版的復用率和產品的成品率 

                4.可靠性高

                采用PLC控制器抖前鞠、 進口電磁閥和按鈕抖前鞠、 獨特的氣動系統抖前鞠、 真空管路系統和經過精密機械制造工藝加工的零件,  使本機具有非常高的可靠性且操作抖前鞠、 維護抖前鞠、 檢修簡便 

                5.特設“碎片”處理功能

                解決非圓形基片抖前鞠、 碎片和底面不平的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對準的問題 

                希望以上關于四川光刻機的信息介紹對你有所幫助,  更多信息可以直接撥打網站上的咨詢電話和我們取得聯系 

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